第一(yī)款半導體行業專用 TEM
Metrios 系統是第一(yī)款半導體行業專用 TEM,它能根據半導體制造商的(de)需要快速、精确地(dì)開展測量,幫助他們開發和(hé)控制晶圓片制造工藝。基本 TEM 操作和(hé)測量步驟實現了高(gāo)度自(zì)動化,最大限度降低(dī)了為(wèi)操作員提供專門培訓的(de)需要。而且,先進的(de)自(zì)動化測量過程相比手動方法具有更大的(de)精度。Metrios TEM 旨在為(wèi)客戶提供比其他 TEM 更高(gāo)的(de)通量和(hé)更低(dī)的(de)單位樣本成本。